1.对于真空镀膜机镀膜的均匀性上，通常也可以理解为镀膜之后的粗糙度。以光学薄膜的标准来看，真空镀膜的均匀性现已相当好，能够轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内，也就是说关于薄膜的光学特性来说，真空镀膜没有任何阻遏。但是假定是指原子层标准上的均匀度，也就是说要结束10A乃至1A的外表平整，具体控制要素下面会根据不同镀膜给出具体说明。



2.化学组分上的均匀性： 就是说在薄膜中，化合物的原子组分会因为标准过小而很简单的产生不均匀特性，这也是真空镀膜的技能含量地址。 具体要素也在下面给出。

3.晶格有序度的均匀性： 这挑选了薄膜是非晶，单晶，多晶，是真空镀膜技能中的热点问题。