超迈光电——满足客户合理需求永不变！
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产品概述：
该系统为手动放片取片，通过触摸屏全自动实现工艺控制的桌面式离子束刻蚀系统，系统具有结构紧凑、功能强大、自动化程度高、模块化设计易于维护、低成本的优势。该系统所配套的所有核心组件均为自主研发。
产品应用：表面处理、离子铣、等离子表面清洗、带活性气体的离子束刻蚀： 光栅刻蚀，以及SiO2，Si和金属的深槽刻蚀。
