真空腔体：SUS304不锈钢钟罩式或前开门，腔体双层水冷，根据客户需求可定制，公司标准产品为φ300、φ500、φ600、φ900mm；

真空系统：涡轮分子泵为主泵，油封式旋片机械泵+机械增压罗茨泵机组为前级真空系统，可选配全干式无油真空系统；

极限压力：优于5X10-5Pa，漏率优于10-6Pa.L/S，除常开部件外均采用CF金属密封连接，其电气引入均采用陶瓷封结部件；

热丝加热组件：加热选用钨丝，加热功率根据客户需求定制，钨丝表面温度2000℃，热丝与基片之间距离手动可调，加热电压：48V，选用优质变压器和功率控制器；

工件盘：根据客户需求定制，基片安装位置与分气系统距离可调，科研级为全盘式工件盘，工业级根据客户实际需求定制；
      射频电源：全固态射频电源，自动和手动兼容匹配器；

基片偏压：可加-200V-0V可调偏压电源；（选配）

基片烘烤：烘烤最高温度700℃，PID闭环控制，温控精度1℃，过冲不超高2℃，升温曲线可调；

气路系统：配置气体质量流量计4套，4-20MA反馈回路，φ6.35BA级毛细气路控制系统，气动VCR全金属密封管路及阀门；
      尾气处理系统：客户根据工艺需求自行购买；

辅助系统：配置空气压缩机1台，科研级冷水机一台。

特别说明：根据用户不同的工况和工艺要求，公司愿与客户联合研发，共享知识产权。