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晶圆PVD工艺设备

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半PVD薄膜设备是公司在半导体领域的第二台量产设备，接受特定客户定制，为国内少数具备蒸发、溅射全生产线生产能力的专业厂家，是未来AMAT、Evatec、Ulvac等企业产品强有力的竞争对手。
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