真空室: SUS304不锈钢钟形或前门，双层水冷室，可根据客户要求定制，公司标准产品有 & phi;300、 & phi;500、 & phi;600、 & phi; 900毫米；

真空系统: 涡轮分子泵为主泵，油封旋片式机械泵机械助力器罗茨泵机组为前置真空系统，可选择全干式无油真空系统；

极限压力: 优于5 x10-5pa，泄漏率优于10-6Pa.L/S，除常开部分外均采用CF金属密封连接，电气引入采用陶瓷密封部件；

热丝加热组件: 加热选用钨丝，加热功率根据客户要求定制，钨丝表面温度为2000 ℃，热丝与基板距离手动可调，加热电压: 48v，选用优质变压器和功率控制器；

工件圆盘: 根据客户需求定制，基板安装位置与气体分配系统之间的距离可调，科研级为全圆盘工件圆盘，工业级根据客户实际需求定制；

基板偏置: 可加-200V-0V可调偏置电源; (可选)

基板烘烤: 最高烘烤温度为700 ℃，PID闭环控制，温度控制精度为1 ℃，超调量不太高2 ℃，加热曲线可调；

气路系统: 配备4套气体质量流量计，4-20MA反馈回路，& phi;6.35BA毛细管气路控制系统，气动VCR全金属密封管路及阀门；

辅助系统: 1台空气压缩机和1台科研级冷水机组。

特别说明: 根据用户不同的工作条件和工艺要求，公司愿意与客户共同开发，共享知识产权。