光电子与传感器

1. 红外 / 紫外 / 气体传感器
o 膜层：Au、Pt、Pd、SnO₂、WO₃、ZnO
o 设备：溅射、蒸发、ALD
o 作用：气敏、热敏、光敏，高精度检测
2. MEMS 微机电系统
o 膜层：多晶硅、SiNₓ、Al、Au、Pt、压电薄膜 AlN/PZT
o 设备：PECVD、溅射、蒸发
o 应用：陀螺仪、加速度计、麦克风、压力传感器
3. 激光器、探测器、光纤器件
o 膜层：增透膜、高反膜、分光膜、滤光膜
o 设备：光学镀膜机、离子辅助 IAD
o 作用：提升光效率、降低损耗、抗干扰