1.1型号：CMY150（定制各种尺寸） ；

1.2真空漏率：<10E-9Torr L/S；

1.3电压：<1000V  ；

1.4功率密度：25W/cm2 ；

1.5适用电源：DC/Pulsed-DC/RF；

1.6适用温度：<450℃；

1.7磁路：磁路模块化，方便更换 ；

1.8安装方式：CF接口，方便安装 ； 

1.9冷却方式：间接水冷；

1.10能够满足共溅射和垂直溅射，能够与设备控制系统兼容；
 

2.随动挡板。

2.1接口尺寸：CF或威尔逊接口电动挡板结构；

2.2密封方式：无接触式静密封；

2.3能够微调挡板结构，在溅射源正常工作后调整挡板角度；

2.4带有快卸接口，能够迅速拆卸和安装。

2.5挡板数据接口和设备控制系统能够兼容。