炉体

主炉膛

尺寸Φ610×850 mm

提拉机构

转速

0～30rpm

提拉速度连续可调范围

0.06～6㎜/h

快提拉速度连续升降可调

≥40㎜/min

有效行程

410㎜

真空

主泵

分子泵

前级泵

油封泵（可选配干泵）

阀门

SUS304波纹管轴封高阀

极限真空

6.6×10-5Pa

系统漏率

停泵关机12小时后真空度≤10Pa

坩埚传动机构

转速

0～30rpm变频可调

升速范围

0.03～6㎜/h可调

快提拉速度连续升降可调

≥40㎜/min

有效行程

560㎜

额定总功率

根据客户需求确定中频电源，推荐使用50KW

占地面积

主机+控制柜+中频电源

2200×2500mm2