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IBE等离子蚀刻

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该系统是一种台式离子束蚀刻系统，手动放膜和取膜，并通过触摸屏自动实现过程控制。该系统具有结构紧凑、功能强大、自动化程度高、模块化设计、维护方便、成本低等优点。该系统的所有核心组件都是自行开发的。