1.气体种类：O2、CF4、CHF3、SF6、BCl3等

2.基片尺寸：zui大支持8英寸，并向下兼容6、5、4、3、2英寸等以及破片

3.射频电源     ICP电源：13.56MHz，1400W; 偏压电源：13.56MHz，800W

4.工艺温度：10℃到80℃可控

5.传送模式：自动Loadlock传送系统