新型显示领域

TFT-LCD 面板。膜层：Gate 栅极（Mo/Al/Mo）、Source/Drain 电极、ITO 透明导电膜、SiNₓ/SiO₂绝缘层；设备：磁控溅射、PECVD；作用：构成薄膜晶体管，控制像素开关。
OLED / AMOLED 显示。膜层：阳极 ITO、阴极 Ag/Mg、空穴 / 电子传输层、薄膜封装（TFE）；设备：有机蒸发、FMM 蒸镀、磁控溅射、ALD；作用：自发光像素、柔性显示、超薄封装。
柔性显示封装。膜层：SiNₓ、Al₂O₃、有机无机叠层；设备：卷对卷 PECVD、ALD；作用：阻隔水氧，延长 OLED 寿命。