太阳能光伏领域

1. 晶硅太阳能电池
1.1射 + 钝化膜。膜层：SiNₓ（氮化硅）、SiO₂、AlOₓ;设备：板式 PECVD、ALD。
1.2隧穿氧化层 & 钝化接触。膜层：SiO₂、poly-Si、SiNₓ；设备：PECVD、LPCVD、ALD
1.3透明导电膜 TCO。膜层：ITO、AZO、BZO；设备：磁控溅射（PVD）、RPD、LPCVD
1.4金属电极 / 栅线。膜层：Ag、Cu、Ti/Pd/Ag；设备：电子束蒸发、磁控溅射、丝网印刷配套镀膜
2. 薄膜 & 新型太阳能电池。
2.1碲化镉 CdTe。膜层：CdS、CdTe、ZnTe、Cu；设备：真空蒸发、磁控溅射。
2.2铜铟镓硒 CIGS。膜层：Mo 背电极、CuInGaSe 吸收层、CdS 缓冲层、i-ZnO/AZO；设备：多源共蒸发、磁控溅射。
3.钙钛矿电池。膜层：电子传输层、空穴传输层、电极、封装阻隔膜；设备：真空蒸发、磁控溅射、ALD、PECVD。
3. 光伏组件封装与功能膜。阻隔膜、水汽阻隔层、防紫外膜；设备：卷对卷 PECVD、卷对卷溅射。