1。身体和房间。全封闭框架结构，机柜和主机为一体式结构，框架默认为白色，门板为白色，四个脚轮可以固定和移动。

真空室采用优质0Cr18Ni9不锈钢 (SUS304) 制成，腔体尺寸不小于: ø450x500mm; 真空室前开，通过铰链连接，自动锁止，并配有门开关到位，完全防止误操作。真空室设有DN100观察窗，观察窗位于真空室正前方。

2。真空系统。

2.1极限真空度

≤ Pa (空载，充分烘烤后脱气，充干氮气)。

2.2真空配置。前泵为机械真空泵，最大抽速优于8L/S，超高分子泵，抽速为1200L/S。

2.3真空测量。进口全量程真空计，最好是德国和瑞士的inficon。

3。工件盘系统。配备一套工件板，可安装4英寸基板1个，可选高温工件板 <800 ℃。

4.磁控溅射系统。配置三个2 4英寸溅射阴极。这三个靶与DC和RF溅射兼容，并且可以独立地自由切换。磁控管靶安装在真空室的底部，向上溅射成膜；

5.通货膨胀系统。两个通道分别配置MFC质量流量控制器，均为0-100SCCM，精度 ± 1% F.S，线性度 ± 0.5 F.S，重复精度 ± 0.2 F.S；

5.其他。配有断水保护，配有冷水机，冷水机的冷却能力为5000千卡; 设备配有小型静音空气压缩机; 保修期1年，维护响应时间不超过24小时；

6.操作系统和安全监控。采用人机界面 + 西门子PLC，实现设备的集中自动控制。所有控制系统和电气安装均与主机集成在一起，以避免由于控制柜和主机之间的线路放置在地面上或从顶部引入而引起的问题。模块化设计可以确保社保维护和维修的便利性。