金属材料的氢脆

氢是金属中的有害元素，极少量的氢就可以使材料变脆。材料中的氢和应力同时存在，就可能是材料发生脆断。这种应力可以是外加应力，也可以是材料本身的残余应力。氢元素的来源，可以是冶炼残留，也可以是从环境进入材料中。

碳化硅单晶加工对晶片表面质量的影响2

通过实验，研究者分析4H-SiC晶片在不同加工工序（线切、磨削、粗研、精研、抛光）中的材料去除速率（MRR）、表面形貌和粗糙度、以及机械性质和晶体质量的变化。

碳化硅单晶加工对晶片表面质量的影响

半导体功率器件在电力电子系统中占据核心地位，特别是在人工智能、5G通讯和新能源汽车等技术快速发展背景下，对其性能要求的提升。

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