16英寸低温泵

低温真空泵：低温真空泵是基于气体冷凝降压效应，将可冷凝气体冷凝至低温表面、非冷凝气体被低温固体吸附剂吸附，从而使密闭腔体压力下降的高真空获得装置。低温真空泵广泛应用于大规模集成电路和泛半导体行业中，其中在光刻、蚀刻、离子注入、物理气相沉积及手机曲面屏的镀膜工艺中，低温真空泵均具有不可替代的作用，在上述行业中提供必要的高真空条件。