真空腔体：根据客户需求定制。

真空漏率：1X10^-6Pa.L/S；
      极限真空优于5X10^-5Pa，标准配置分子泵系统。
      加热功率：小于12KW；
      温控仪表：配置触摸屏温控仪和专用温控仪表，自主编程的温控系统，配置功率控制器，带有方便的温度分配和功率分配接线端；
      腔体：功能材料透明腔体，直径不低于240mm,耐高温不低于1000℃，短期工作可达到1200℃。
      温度隔离罩：配置专用温度隔离罩，降低环境温度对系统的影响，同时具有安全隔离功能。
      配置2套坩埚，并设有陶瓷封结的温度传感器，精度为：±1℃，过冲不超过2℃；
      配置2套基片温度平衡系统，配置进口精密耐高温专用传感器，精度为：±1℃，响应速度极快，特别适合超精密温度控制；
      配置能量反射屏一套，配置有专用沉积环境仓，沉积反应仓可扩展至水冷系统；
      配置移动小车一套，并配置不锈钢安装板和推手，配置福马轮4套，可根据客户实际需求设计为一体机和桌面式；
      配置有SUS304柔性真空管路和相关标准件；
      配置三路复合真空计一套，带RS485控制端口，配置有不锈钢毛细管路泄压阀，可以沉积柔性薄膜材料；
      可选配洁净无油高真空真空系统。