主要技术指标：

适用范围：1×10⁵ Pa ~1.3×10^-7 Pa;

漏率：≤1.3×10^-10  Pa.m³/s;

工作介质：空气、水蒸气、非腐蚀性气体；

烘烤温度：

— 打开：≤200℃；

— 关闭：≤150℃；

压缩空气：0.4 ～0.7MPa； 

电源：AC220V 50Hz，6W 或者 DC24V，3W(可选)； 

安装位置：任意。

阀门位置指示：

手动：带有行程控制销钉；气动：带有启闭位置指示磁性开关。